規格

mm

測量面對基面的垂直

測量面平面度或直線度

基準平面度或直線度

精度等級um

1

2

3

1

2

3

1

2

3

200×200

8

16

30

4

8

16

6

12

24

300×200

10

20

40

5

10

20

8

16

30

300×300

10

20

40

5

10

20

8

16

30

400×300

12

24

45

6

12

24

10

20

40

400×400

12

24

45

6

12

24

10

20

40

500×400

14

28

50

7

14

28

12

24

48

500×500

14

28

50

7

14

28

12

24

48